母合金掺杂剂

掺杂，又称配料，掺杂的目的主要是用来改变硅熔体中施主杂质（如磷）或受主杂质（如硼）的杂质浓度，使其生长出的单晶电阻率达到规定的要求。所谓“母合金”就是杂质元素与硅的合金。本公司提供以下多种类型母合金：

形状

块状

片状

棒状

掺杂类型

硼

磷

型号

P型

N型

电阻率

0.001-0.006 Ω.CM

确保每段电阻率偏差在0.001或0.0005范围内

浓度

硼含量(atom/cm3)=1.1732E20～1.6184E19

磷含量(atom/cm3)=7.3763E19～9.6552E18

碳含量(atom/cm3)<5E16

氧含量(atom/cm3)<1E18

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