AXCELIS GSD200 离子注入机通讯控制板维修 电路板维修

常用的生产型离子注入机主要有三种类型：低能大束流注入机、高能注入机和中束流注入机，如下所示：

低能大束流离子注入机，0.2keV~100keV，超浅结、源漏注入、多晶硅栅注入等

高能离子注入机，~MEV，深埋层等

中束流离子注入机，几百keV，栅阈值调整、轻掺杂漏区、SIMOX、Cut穿透阻挡层等

低能大束流离子注入机：大束流的注入机的束流可以达到几毫安甚至几十毫安。低于100keV，由于器件的特征尺寸不断缩小，需要更低能的注入，以形成浅结或超浅结，有的大束流的注入机的低能可以达到0.2keV。