回收后的废旧靶材进入预处理阶段。首先进行严格的分类与鉴别，依据其成分、镀层残留情况、基底材料（常为金属或陶瓷）进行分选。随后通过机械破碎、研磨等物理方法，将大块靶材分解为粒度较小的颗粒，增大后续化学处理的反应接触面积。此阶段可能涉及物理分选技术，如利用密度或磁性差异初步分离部分杂质。
ITO废旧靶材的上门回收及后续处理，是一项融合了物流管理、材料分选、湿法冶金和金属精炼的系统性工程技术。其核心价值在于通过工业化的化学与物理手段，将废弃物品中的特定稀有元素——铟，、清洁地转化为可再次投入生产的工业原料。这一过程体现了资源循环理念在电子信息材料领域的具体应用，其发展水平与推广程度，是衡量相关产业资源效率和环境绩效的一个重要指标。未来，随着回收技术的持续优化与产业链协同的加强，此类资源循环体系有望在更广泛的电子废弃物处理中发挥示范作用。
二、现场快速筛查技术（适用于初步分类与估价）
在回收一线作业中，为提率、实现分级管理，可采用以下便携式工具进行初筛：
XRF便携式荧光光谱仪
可在现场对块状、粉末状ITO废料进行非破坏性检测，检出限≤50 ppm，能在数十秒内给出铟的大致含量，是目前最常用的现场初筛工具。但需注意，XRF对薄膜类样品（如镀膜玻璃）测量误差较大，建议结合取样分析。
分级分类辅助判断
根据废料来源和物理形态，可初步预估铟含量：
废旧ITO靶材残块：铟含量通常在70%以上，优质残靶可达85%~90%
靶材边角料与次品：含量接近原材，约85%–90%
溅射粉尘或靶灰：因氧化和污染，含量可能降至50%以下，需谨慎评估
从物质循环的视角审视，ITO靶材的回收本质上是一个将使用后或加工后的固体物料，重新纳入工业生产链条的过程。这一过程并非简单的“变废为宝”，而是需要解决一系列技术难题：如何分离靶材中的铟、锡与其他基材或杂质；如何在回收过程中保持金属，特别是铟的高回收率与纯度；以及如何控制回收工艺自身的环境足迹。
